矽赫微®半导体整线设备解决方案

  矽赫SIHERIA支持为产业界提供半导体整线设备解决方案产品与服务 半导体制造整线设备特点: 1.节省整线长度占地、宽度可根据需要自由调节 2.整机防呆少人工干预、产出效率提升 3.良好的防尘设计:设备密闭防护防灰尘干扰、前后设备之间采用翻盖式专用透明防护罩 4.缓存和移载:根据前后设备效率匹配缓存物料和衔接前后轨道进行错位输送物料   通过矽赫科技旗下二级子产品品牌“矽赫微”在半导体制造工艺中测量和检测透明体厚度解决方案 提供可测量厚度的创新三维工艺(Dispensing Process Inspection)解决方案 1.双阀智能纠偏机构,针头一键校准,快速切换 2.支持飞行识别 3.平台精度±10μm 4.微量天平0.01mg   通过矽赫科技旗下二级子产品品牌“矽赫微”在半导体制造芯片键合(Die Bonding)方案 芯片键合(Die Bonding)芯片范围: 1.精准模式:0.2*0.2-5*5mm 2.标准模式:0.2*0.2-9*9mm 3.标准模式 ±20um 4.精准模式 ±10um 5.晶片最大校正角度±15° 设备智能功能 6.支持晶圆环自动...
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矽赫SIHERIA支持为产业界提供半导体整线设备解决方案产品与服务

半导体制造整线设备特点:

1.节省整线长度占地、宽度可根据需要自由调节

2.整机防呆少人工干预、产出效率提升

3.良好的防尘设计:设备密闭防护防灰尘干扰、前后设备之间采用翻盖式专用透明防护罩

4.缓存和移载:根据前后设备效率匹配缓存物料和衔接前后轨道进行错位输送物料

 

通过矽赫科技旗下二级子产品品牌“矽赫微”在半导体制造工艺中测量和检测透明体厚度解决方案

提供可测量厚度的创新三维工艺(Dispensing Process Inspection)解决方案

1.双阀智能纠偏机构,针头一键校准,快速切换

2.支持飞行识别

3.平台精度±10μm

4.微量天平0.01mg

 

通过矽赫科技旗下二级子产品品牌“矽赫微”在半导体制造芯片键合(Die Bonding)方案

芯片键合(Die Bonding)芯片范围:

1.精准模式:0.2*0.2-5*5mm

2.标准模式:0.2*0.2-9*9mm

3.标准模式 ±20um

4.精准模式 ±10um

5.晶片最大校正角度±15° 设备智能功能

6.支持晶圆环自动切换&自动扩膜

7.芯片防呆、固前固后检测

8.Mapping找晶

9.基板曲翘高度位置调整

10.测高数据量化

11.精准确保品质

12.直线电机驱动系统&光栅读头系统

 

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