矽赫微®半导体整线设备解决方案
矽赫SIHERIA支持为产业界提供半导体整线设备解决方案产品与服务
半导体制造整线设备特点:
1.节省整线长度占地、宽度可根据需要自由调节
2.整机防呆少人工干预、产出效率提升
3.良好的防尘设计:设备密闭防护防灰尘干扰、前后设备之间采用翻盖式专用透明防护罩
4.缓存和移载:根据前后设备效率匹配缓存物料和衔接前后轨道进行错位输送物料
通过矽赫科技旗下二级子产品品牌“矽赫微”在半导体制造工艺中测量和检测透明体厚度解决方案
提供可测量厚度的创新三维工艺(Dispensing Process Inspection)解决方案
1.双阀智能纠偏机构,针头一键校准,快速切换
2.支持飞行识别
3.平台精度±10μm
4.微量天平0.01mg
通过矽赫科技旗下二级子产品品牌“矽赫微”在半导体制造芯片键合(Die Bonding)方案
芯片键合(Die Bonding)芯片范围:
1.精准模式:0.2*0.2-5*5mm
2.标准模式:0.2*0.2-9*9mm
3.标准模式 ±20um
4.精准模式 ±10um
5.晶片最大校正角度±15° 设备智能功能
6.支持晶圆环自动切换&自动扩膜
7.芯片防呆、固前固后检测
8.Mapping找晶
9.基板曲翘高度位置调整
10.测高数据量化
11.精准确保品质
12.直线电机驱动系统&光栅读头系统